國(guó)標(biāo)編號(hào)

22033

CAS號(hào)

75-73-0

中文名稱(chēng)

四氟甲烷

英文名稱(chēng)

tetrafluoromethane；carbon tetrafluoride

別    名

R14；四氟化碳

分子式

CF₄

外觀與性狀

無(wú)色無(wú)臭氣體

分子量

88.01

蒸汽壓

13.33kPa(15.07℃)

熔    點(diǎn)

-183.6℃ 沸點(diǎn)：-128.0℃

溶解性

不溶于水

密    度

相對(duì)密度(水=1)1.61(-130℃)

穩(wěn)定性

穩(wěn)定

危險(xiǎn)標(biāo)記

5(不燃?xì)怏w)

主要用途

用作低溫致冷劑及集成電路的等離子干 法蝕刻技術(shù)

項(xiàng)目ITEM

公司標(biāo)準(zhǔn)COMPANY STANDARD

純度CF₄%

≥99.9

≥99.99

氮?dú)猓?/span>N₂）的體積公數(shù)/10^-6

≤350

≤40

氧氣（O₂）的體積分?jǐn)?shù)/10^-6

≤350

≤20

水分（H₂O）的質(zhì)量分?jǐn)?shù)/10^-6

≤5

≤1

一氧化碳（CO）的體積分?jǐn)?shù)/10^-6

≤20

≤10

二氧化碳（CO₂）的體積分?jǐn)?shù)/10^-6

≤80

≤10

酸度（以HF計(jì)）的質(zhì)量分?jǐn)?shù)/10^-6

≤0.5

≤0.1

其它氟碳化合物（F-）的體積分?jǐn)?shù)/10^-6

實(shí)測(cè)

≤10

總雜質(zhì)的體積分?jǐn)?shù)/10^-6

≤1000

≤100